Можно использовать как команду \prime с знаком степени так и одинарную кавычку с клавиатуры (на английской раскладке, на клавише русской "э"):
f^\prime
$f^\prime$
f^{\prime\prime}
$f^{\prime\prime}$
f' //пример в строке выше
$f'$
f''
$f''$
f_1'' //пример в строке выше
$f_1''$
